一种MEMS热驱动可变电容的分析模拟

摘要：

文中设计并分析了一个MEMS热驱动可变电容，它的下极板固定于衬底，上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成，一端通过锚点固定于衬底，一端连接在电容器上极板。热驱动器通过电压驱动使MEMS电容器上极板上下运动。文中作者使用有限元方法模拟了150~300μm加热臂长在0~4 V电压条件下的电容变化值和温度变化，有限元模拟结果表明其电容变化率最大可达10倍。

关键词：MEMS设计、有限元分析、可变电容、热执行器

分类号：TH703;TM532.5(仪器、仪表)

在线出版日期：2013-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43