线弧参数对铝丝楔焊键合强度的影响研究

摘要：

文章主要研究了铝丝楔焊键合过程中线弧参数对键合拉力的影响规律，分析了线弧高度、线弧起始角度、拉弧过程中反向距离与键合拉力之间的关系，实验研究表明线弧高度越大，键合拉力越大；不同线弧起始角度和反向距离对稳定性烘焙试验前键合拉力影响不大，而经过300℃、1 h烘焙后，起始角度太大和反向距离越长，其键合拉力离散性大，并出现小于3 gf的拉力情况，这些实验现象和分析结果为实际生产中键合工艺的优化提供了参考。

关键词：楔焊键合、线弧高度、起始角度、反向距离、键合拉力

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-17