声学扫描显微镜检查在塑封器件检测中的应用

摘要：

随着塑封器件在武器系统中的使用越来越广泛,塑封器件在使用中也暴露出了一些问题,如塑封器件易打磨、翻新,内部易进入水汽产生爆米花效应或内部界面分层等.作者总结近几年塑封器件DPA试验中出现的各种失效,重点对塑封器件内部界面分层以及分层产生的原因、危害进行了论述.同时,论述了声学扫描显微镜检查对内部界面分层的辨别、原理及其相关试验标准等,提出了塑封器件在型号产品中的使用建议.

关键词：塑封器件、DPA、超声扫描

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12