TiO2/ZrO2掺杂MAS系LTCC生带的烧结致密化研究*

摘要：

文章以掺杂TiO2/ZrO2的MAS(MgO-Al2O3-SiO2)系微晶玻璃作为功能相,采用流延法制成生带并最终烧结成型.系统地研究了掺杂、粉体粒径、烧结条件等对LTCC基板收缩性能和致密性的影响.结果表明:通过成核剂TiO2/ZrO2的掺杂,能有效降低基板烧结温度,提高烧结致密性;粉体粒径对生带烧结后的致密性影响较大,粒径越小生带致密化程度越高,同时收缩率也越大.同时通过对比不同烧结条件下样品的致密性,确定了MAS系LTCC生带的最佳烧结曲线.

关键词：掺杂、粒径、烧结致密化

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31