一种基于SiP技术的加速度计有源磁悬浮控制电路

摘要：

加速度计是以加速度的观点来测量物体运动的传感器,它通过检测质量块的惯性力来测量载体的线加速度或角加速度.文中介绍的有源磁悬浮控制电路与陀螺浮子构成磁悬浮摆式积分陀螺加速度计,该加速度计具有量程大、测量精度高等优点.受整机系统内部装配空间的限制,在电路集成化产品的设计中,采用系统集成封装(SiP)技术设计与制作有源磁悬浮控制电路,减小电路产品的底面积和高度,适应整机系统对产品的装配和使用要求.同时详细介绍了基于SiP技术的电路设计方法,对HTCC工艺的SiP结构设计进行了阐述,并简述了HTCC工艺的SiP产品达到的技术性能和应用情况.

关键词：加速度计、有源磁悬浮控制、HTCC、SiP

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21