基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究

摘要：

激光调阻具有高精度、高效率等特点,是目前厚膜混合集成电路最为常用的电阻修调方法.为了实现厚膜混合集成电路中精度电阻的制作,文章对激光调阻工艺进行了系统研究,内容包括探针卡焊接组装、调阻程序编制以及工艺试验研究.通过进行试验验证,选用L型调阻路径,调阻精度已达到±0.5%,满足设计要求.

关键词：激光调阻、探针卡焊接、调阻程序编制、工艺试验研究

分类号：TP216(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36