半导体设备AMATP5000死机故障分析及处理

摘要：

著名半导体设备厂商美国应用材料公司生产了半导体制程设备P5000，该设备在实际使用过程中经常出现各种类型的死机现象。文章重点介绍了通过查询P5000设备的死机报告界面，对该界面进行分析，找出其中最关键的死机代码，并对常见的的死机代码进行原因分析，找出相应的死机原因。针对不同的死机原因提出相对应的可行性解决方案，最终快速、正确地解决常见的死机问题。

关键词：P5000、死机、代码、VME、接地

所属期刊栏目：12

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48