天线效应对LPNP管输出曲线的影响

摘要：

天线结构是监控半导体工艺过程中等离子体损伤的一种典型结构，一般主要用来监控MOS器件栅氧的损伤。文中，该结构用来监控横向PNP（LPNP）管工艺过程中的发射极结损伤。实验发现，带天线结构的LPNP管的输出曲线容易出现翘曲现象，分析认为该异常不是由于发射极结损伤造成的，因为发射极结工艺过程中并没有受到损伤。同时发现该翘曲现象在LPNP管保护环接低电位时会消失，该低电位在很大范围内变化时，输出曲线基本一致，且输出曲线电流较保护环悬空时的电流整体偏大，在集电极电压较大时，输出电流和保护环悬空时的电流一致。

关键词：天线结构、输出曲线、翘曲、发射极结、保护环

所属期刊栏目：12

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,48