军用单片集成电路QML质量保证体系研究

摘要：

军用单片集成电路的质量保证体系经历了由QPL体系向QML体系转变的过程。文章介绍了两种质量保证体系的发展过程和特点，并着重阐述了QML体系的优势以及具体实施途径。QML体系对集成电路的制造（包括从设计到最终检验）全过程中质量控制相关要求进行了详细阐述，尤其是在线工艺监控（PM）和可靠性测试结构（TCV）的关键点，旨在表明质量和可靠性可以在产品设计和加工中体现，与过去仅仅在制造流程的最后通过产品检验来剔除失效器件的做法有着本质区别，也成为当今主流方法。

关键词：集成电路、QML、质量保证体系

所属期刊栏目：11

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38