铜线键合优势和工艺的优化

摘要：

半导体封装对于芯片来说是必须的,也是至关重要的.封装可以指安装半导体集成电路芯片用的外壳,它不仅起着保护芯片和增强导热性能的作用,而且还起到沟通芯片内部世界与外部电路桥梁和规格通用功能的作用.文章阐述了铜线键合替代金线的优势,包括更低的成本、更低的电阻率、更慢的金属问渗透.再通过铜线的挑战--易氧化、铜线硬度大等,提出了在实际应用中工艺的优化,如防氧化装置、铜丝劈刀的参数、压力和超声的优化等.

关键词：半导体封装、引线键合、铜线键合

所属期刊栏目：11

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2011-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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