基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展

摘要：

光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点,在现代工农业、环境监测,生物技术等领域发挥着重要的作用.随着这些领域的发展,人们对气体探测器的综合性能要求越来越高,因而光声气体探测器得到了良好的发展和应用.基于光声光谱法探测气体是利用气体光声效应原理,其中传声器是气体探测系统的一个重要声电转换器件.文章介绍了光声光谱法气体探测的基本原理,光声效应产生机理,阐述了电容式传声器、驻极体传声器和悬臂式微传声器的研究进展及其与光声光谱法相结合在气体探测领域的应用现状.详细介绍了几种传声器的优缺点,并展望了高灵敏微传声器的发展及其应用意义.

关键词：光声光谱、气体探测、硅微电容传声器、驻极体

所属期刊栏目：11

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38