变频式超声波发生器的高速锁相研究

摘要：

用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置,其核心与关键是频率自动跟踪与锁相速度.文中构建了一种变频式超声波发生器,并对其中的高速锁相进行分析.通过换能器的电流反馈,采用基于嵌入式的数字式真有效值试探算法,超声波发生器锁相速度比传统速度提高数十倍,达到高速锁相的要求,满足了换能系统工作时的高速谐振需求.

关键词：高速锁相、真有效值、平方根、超声键合

所属期刊栏目：10

分类号：TN911.8

资助基金：国家重点基础研究发展计划资助项目2003CB716202;国家自然科学基金青年科学基金项目50605064;国家自然科学基金资助项目50390064

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-37,47