铁电存储器工作原理和器件结构

摘要：

铁电存储器与传统的非易失性存储器相比,具有功耗小,读写速度快、抗辐照能力强等优点,因此在一些特殊应用领域具有很好的市场.文章介绍了铁电存储器的基本工作原理,并介绍了两种主流的铁电材料.文章还介绍了铁电存储器的电路结构,包括2T2C、1T1C、1T2C以及链式结构,并说明了铁电存储器的读写过程.铁电存储器的器件结构主要有Planar结构和Stacked结构两种.Planar结构制作工艺相对简单,但是集成度不高.Stacked结构的集成度更高,对工艺的要求也更高.

关键词：铁电存储器、PZT、SBT

所属期刊栏目：8

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38