10.3969/j.issn.1681-1070.2007.12.010
早期热壁卧式LPSIN工艺的优化改进
文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题,详细阐述了颗粒问题产生的原因,包括DCS气体、工艺压力、反应生成物.针对这些颗粒成因提出了相应有效的优化方法,通过实践每一种优化方法都可以降低LPSIN工艺的颗粒,综合所有优化方法有效地降低了LPSIN工艺的颗粒,极大地延长了设备PM的间隔,提高了LPSIN工艺的质量,大幅提高了设备的流片产能,在不对设备硬件做大的改动的情况下使设备的能力得到了大的改进.
LPSIN、颗粒、工艺压力、DCS、NH3、NH4Cl
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TN705(基本电子电路)
2008-04-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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