高性能氮化铝陶瓷基片生产关键技术研究

摘要：

文章主要介绍氮化铝陶瓷基片生产的关键技术.重点研究了原材料控制、氮化铝基片配方、成型工艺、烧结技术、磨抛技术等五个方面的因素对氮化铝陶瓷基片生产的影响以及解决措施.通过研究发现添加3%左右的Y2O3作为烧结助剂,同时采用低温段缓慢升温的方法可以极大地提高氮化铝陶瓷基片的烧成质量.我们的研究,优化了生产工艺,提高了氮化铝陶瓷基片的质量和生产的成品率.

关键词：氮化铝陶瓷基片、生产、关键技术

所属期刊栏目：7

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2008-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,6