漏率公式与判据和内部气体含量的分析研究(三)

摘要：

在对氦质谱细检漏漏率公式的分析和对密封腔体内外气体交换过程公式的推演中,以氦气标准漏率LHe代替等效标准漏率L,引用了氦气交换时间常数THe,使公式更为真实和简单直观.通过漏率偏差的分析和内部气体含量的计算表明,能够应用本文的公式对密封腔体内外气体的交换过程进行工程计算.计算分析了现行我国国家标准和美国标准各种试验条件漏率判据所对应的THe,着重指出漏率符合接收判据并不能有效保证内部水汽含量要求.讨论了这些标准中进行的改进、存在的密封性等级及进一步改进的必要,并提出了建议进行研究的内容.

关键词：密封性、氦质谱检漏、漏率公式、漏率判据、氦气交换时间常数、内部水汽含量

所属期刊栏目：7

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2008-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48