负偏压不稳定性的危害及防治

摘要：

负偏压不稳定性(NBTI)已成为现代集成电路制造的巨大挑战.文章将讨论负偏压不稳定性对器件及电路的影响,并对影响负偏压不稳定性的集成电路制造步骤进行分析.最后,我们找到一些对现有工艺进行改进的方法来减小负偏压不稳定性.

关键词：集成电路、负偏压不稳定性、可靠性

所属期刊栏目：7

分类号：TN705(基本电子电路)

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33