低温共烧陶瓷LTCC埋置电感的研究

摘要：

文章讨论了低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-Fired Ceramic--LTCC)埋置电感的几何结构,并进行了仿真.分析了结构变化对电感各参数的影响,并通过LTCC工艺流程实现样品的制作.经Agilent4285A及4291B等仪器测试,仿真结果与实测结果完全一致,为等效模型的提取和元件库的建立奠定了基础.

关键词：低温共烧陶瓷、埋置电感、等效电路

所属期刊栏目：7

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60571017

在线出版日期：2007-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9