洁净厂房正压控制问题讨论

摘要：

文章重点探讨了洁净厂房的正压值的控制问题,讨论了正压值与洁净度以及温度湿度之间的关系.根据现有洁净厂房的生产条件,分析了正压值和洁净度以及温湿度不能达标的具体原因.探索了实际生产中正压值控制的方法,并验证了其可行性.

关键词：洁净厂房、洁净度、温湿度、正压、过滤器

所属期刊栏目：7

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2007-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37