对氟和铝表面反应的研究

摘要：

X光电子分光镜(XPS)分析被用来界定和比较未接触铝表面、氧接触铝表面和氟接触铝表面的气体扩散器.未接触和氧接触样品铝表面会形成Al2O3,另一边,氟接触表面倾向生成氢氧化氟铝表层.从氢氧化氟铝表层的形成看上去,像是由原有的A12O3、氟和水蒸气共同反应产生的.扫描电镜(SEM)的显微照相则显示三种样品表面是光学相似的.

关键词：XPS、氢氧化氟铝、SEM

所属期刊栏目：7

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：40-44,48