10.3969/j.issn.1681-1070.2007.02.009
一种离子注入提速的新方法
文章介绍的有效化扫描是不改变工艺参数,仅改变机械运动就能缩短注入时间的方法.传统注入工艺中,扫描往返运动会产生大量的额外注入时间.有效化扫描通过数字信号处理器检测和分析,找到圆片脱离束流的瞬间(此时dIB/dt=0;d2IB/dt2<0,且检测出的点与标准扫描时的一致),改变扫描运动方向,通过缩短扫描往返路程来减少实际注入时间.
有效化扫描、数字信号处理器、注入时间
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TN820.2(无线电设备、电信设备)
2007-04-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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