薄膜中晶粒正常生长过程的研究

摘要：

通过建立一个理论模型研究了薄膜中正常晶粒生长过程中晶粒的变化情况.晶粒按照边长数被分成不同的组,可以通过晶粒消失与晶界转换两种方式来改变边长的数目,在不同组之间进行转换.晶粒的长大与缩小由边长数与晶粒大小决定.计算机模拟的结果表明平均晶粒尺寸随时间呈线性增长,晶粒尺寸分布与已报道的结果基本一致.

关键词：薄膜、晶粒生长、平均晶粒尺寸

所属期刊栏目：6

分类号：TN305.055(半导体技术)

在线出版日期：2006-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40