不同栅氧厚度NMOS管的热载流子效应

摘要：

文章主要讨论在相同工艺条件下,针对不同栅氧厚度(例如:Tox分别为150A、200A、250A)的NMOSFET进行加速应力试验,在试验中当某些参数的漂移量达到失效判据规定的值时(例如:阈值电压改变50mV),可以得到器件的应力寿命,由此估计该器件在正常工作条件下的寿命值,并对该工艺的热栽流子注入效应进行评价.

关键词：热载流子效应、栅氧厚度、寿命

所属期刊栏目：6

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39