一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

摘要：

近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流.在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题.文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件.与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景.

关键词：单片机、测量、微机械、光开关、阙值电压

所属期刊栏目：6

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24