10.3969/j.issn.1681-1070.2005.09.014
STS新型Pegasus机器特别适用于深硅刻蚀
@@ 总公司位于英国威尔士New Port的Surface Technology Systems plc(STS)近日宣布推出其新产品”Pegasus”全新离子反应式深硅刻蚀机,该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化,更可大幅度地改善制程能力的稳定度及机器的可靠性.
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TN3;O64
2005-11-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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