Aviza推出系列新型解决方案

摘要：

@@ 日前,本刊通讯员在SemiconChina 2005展会上了解到,已通过生产验证的热处理系统领先供应商及原子层淀积(ALD)创新者Aviza Technology近期推出了一系列新型解决方案,它们分别是:半导体行业首款批量晶片处理ALD系统、第三代立式扩散炉--快速立式处理器500(RVP-500)和新型Satin TM 方案.

机标关键词：处理系统、原子层淀积、生产验证、立式、解决方案、通讯员、扩散炉、供应商、创新者、处理器、半导体、行业、批量、晶片

所属期刊栏目：5

分类号：TN4;O6

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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