10.3969/j.issn.1681-1070.2005.01.010
SiGe材料及其在双极型器件中的应用
SiGe材料具有很多独特的性质,高性能的应变SiGe外延层能够将能带工程的概念引入到传统的Si基材料中去.外延SiGe合金使得在Si基材料上制作性能优异的双极晶体管成为可能.本文回顾了SiGe材料和SiGe异质结双极晶体管的最新研究进展,包括它们的结构、性能、制作工艺、优点以及未来发展方向等.
SiGe、异质结双极晶体管、微波器件
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TN304(半导体技术)
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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