10.3969/j.issn.1681-1070.2004.06.003
颇具竞争力的SOI硅集成技术(续)
主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面的优越性以及在微电子领域中的广泛应用.
SOI技术、SOI材料、SOIIC
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TN386(半导体技术)
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
9-13
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10.3969/j.issn.1681-1070.2004.06.003
SOI技术、SOI材料、SOIIC
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TN386(半导体技术)
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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