纯水应用中五种脱气装置的比较

摘要：

在纯水制造过程中,以前常常使用鼓风脱气和真空脱气装置,近年来,膜脱气工艺发展非常迅猛,在高纯水领域已经开始有了广泛应用,同时也有不少纯水工艺采用了树脂催化法除氧.本文分别对五种不同的脱气装置作了介绍和对比.

关键词：脱气器、脱气塔、纯水、溶解氧、树脂

所属期刊栏目：4

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：54-62,30