10.3969/j.issn.1681-1070.2004.01.017
TEL Mark-8轨道T&H-NRC-1-A型温湿度空气调节器原理介绍及故障分析
本文介绍了在半导体设备TEL Mark-8中T&H-NRC-1-A型温湿度空气调节器的基本原理及一般故障分析.
温度、湿度、冷冻机、蒸发、压缩、凝聚、膨胀
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TN305(半导体技术)
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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10.3969/j.issn.1681-1070.2004.01.017
温度、湿度、冷冻机、蒸发、压缩、凝聚、膨胀
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TN305(半导体技术)
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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