10.3969/j.issn.1681-1070.2003.06.012
控制MEMS封装成本的圆片规模封装
@@ 微机械系统(MEMS)工艺使新的概念迅速转换为实际样机和早期产品.这种转换的速度基于集成电路、产业制造基础的拉动能力:工厂、设备、仪表、工艺、材料和从业人员.
控制、封装、成本、圆片、微机械系统、转换、集成电路、工艺、从业人员、制造、仪表、样机、设备、能力、基础、工厂、概念、产业、产品、材料
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TB4(工业通用技术与设备)
2005-09-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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