亚洲加速MEMS研发和微系统组装

摘要：

亚洲是全球微电子产品增长较快的地区.MEMS是业内人士公认的21世纪的新的技术增长点,而封装技术在微电子与MEMS制造中发挥着越来越重要的作用.本文论述了亚洲,尤其是中国和中国台湾在MEMS研究与微系统组装技术领域的发展现状与趋势.

关键词：亚洲、微系统、组装技术、MEMS

所属期刊栏目：3

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-39,50