一种新颖的圆片级CSP MEMS封装方法

摘要：

一种新型的WLCSP为MEMS器件有源区上面提供一个集成腔室.这种封装是专为具有机械运动元件的微机械器件设计的,如微反射镜、陀螺仪及加速检测器等.

机标关键词：圆片级、器件有源区、微反射镜、器件设计、机械运动、微机械、陀螺仪、检测器、元件、集成、封装

所属期刊栏目：2

分类号：TN4;TN9

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：37-38