Flash memory中的叠栅腐蚀工艺

摘要：

本文主要介绍了Intel式Flash memory单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了Flash叠栅自对准腐蚀对Flash性能的重要性.

关键词：Flash Memory、腐蚀工艺、叠栅

所属期刊栏目：2

分类号：TP305.2(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,31