10.3969/j.issn.1681-1070.2002.02.009
质量流量控制器的原理与维修
@@ 质量流量控制器(Mass Flow Controllers:MFC)是一种精确控制气体流量的部件.实际上它包括质量流量控制(MFC)和质量流量计(Mass Flaw Meters:MFM)二部分.故有时将MFC称为MFM.其原理如图1所示:
质量流量控制器、原理、质量流量计、气体流量、精确控制、部件
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X85;TP6
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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