MEMS需要新型封装设计

摘要：

@@ 最近二十年来,MEMS加工技术的研发在速度和多领域、多用途方面都确实令人叹服.广义上讲,一个微型系统包括微电子机械系统(MEMS:Micro electromechanic system)、信号转换和处理单元以及电气机械封装等.

机标关键词：微电子机械系统、信号转换、微型系统、加工技术、处理单元、多用途、多领域、封装、电气

所属期刊栏目：2

分类号：TP3;TP2

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：47-50