用芯片图形与数据带比较检查掩模缺陷

摘要：

为了零缺陷的突破,本文介绍芯片图形与数据带(Die-to-date base)比较检查掩模版缺陷的原理,系统组成和数据结果分析.

关键词：定义缺陷、RTB、圆角、RIA

所属期刊栏目：2

分类号：TN305.6(半导体技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33