气密性封装内部水汽含量的控制

摘要：

气密性封装内部水汽含量过高,会使芯片及电连接系统发生各种物理化学反应,从而造成器件参数不稳定甚至失效,为了保证空封半导体器件的可靠性,生产上不仅需要检测器件封装的气密性,而且需对器件内部水汽含量进行有效的控制.因国内许多生产单位不具备对内部水汽含量进行有效控制的条件和检测设备,因而通过本文的讨论并采用有效防止水汽存在或引入器件的内部,使水汽含量控制在规定的范围内(GJB548A-96、CJB33A-97规定内部水汽含量为:100±5℃,烘24小时以上,小于5000ppmV,且这是最低要求).因要使器件(未经钝化处理)无因水汽引起的失效,最稳妥的办法是使器件内部水汽含量小于500ppmV;实际上,对大多数器件内部水汽含量若能保持在1000ppmv以下即能保证器件可靠运行.我们采用合金烧结芯片、合金封帽的器件其内部水汽含量控制在300ppmV左右,聚合物导电胶装片、合金封帽的在1200ppmV左右,银玻璃装片、Pb-Sn-Ag合金封帽的在3000ppmV左右,即便有某些偏差,亦能保证内部水汽含量控制在较低的范围内,使生产的器件可靠性大大提高,并能100%通过水汽含量检测.

关键词：气密性、内部水汽含量、可靠性

所属期刊栏目：1

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38