10.3969/j.issn.1000-8519.2022.20.031
基于ZnO/PZT结构的单端声表面波器件研究
本文设计了一个基于ZnO/PZT结构的声表面波器件,使用COMSOL Multiphysics软件对其进行有限元仿真,仿真发现器件的反谐振频率为133.75MHz,谐振频率为133.66MHz.根据仿真结果制备了相应的SAW器件,实验所用ZnO薄膜与PZT薄膜采用射频磁控溅射方法沉积,测试其谐振频率为127.0MHz.
氧化锌/锆钛酸铅、声表面波、COMSOL仿真
TN384(半导体技术)
2023-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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