集成电路双面老炼方案研究

摘要：

动态老炼试验是元器件可靠性试验中极为重要的过程,通过老炼可以剔除早期失效元器件.本论文简单介绍了老炼试验的重要性、实现方式及特点,并结合提出了两种双面老炼板工艺效率改进方案,均能在不增购老炼设备的前提下将老炼效率提升80％以上,并通过实践验证了其可行性.

关键词：双面老炼板、效率提升、动态老炼

在线出版日期：2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：111-112,96