扫描透射电子显微镜探针尺寸的表征

摘要：

在光学显微镜实验中,设备的精度直接影响实验结果的质量.一台高精度的实验装置可以得到更理想的结果,即误差较小的实验结果.因此,如何提高仪器的精度是一个值得关注的主要问题.扫描透射电子显微镜(STEM)结合了透射电子显微镜和扫描电子显微镜的原理,在成像和高分辨率分析方面具有多种强大的功能.在本文中Python可以将由STEM获取的明暗刀刃边缘实验图片做出对应的点扩散函数来表征此仪器的分辨率,即整个成像系统的水平.

关键词：扫描透射电子显微镜(STEM)、成像系统、点扩散函数(PSF)、Python

在线出版日期：2020-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

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