叉指换能器形状对声表面波气体传感器谐振频率的影响

摘要：

声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量.声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景.文章分析研究了不同敷金比和不同电极厚度对器件性能的影响,实验表明敷金比和电极厚度越大,沉积效应就越显著,器件性能受其影响就越严重,因此,在设计、制造声表面波器件时需要着重考虑这两个因素.

关键词：SAW气体传感器、叉指换能器、谐振频率

在线出版日期：2020-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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