10.3969/j.issn.1000-8519.2019.17.043
浅谈快速热处理工艺及其温度检测与控制
文章针对工艺过程中瞬时温度的检测和控制,结合测温实验从温度传感器、腔体结构、加热源几个方面分析了快速热处理设备的关键技术.
快速热处理、集成电路制造工艺、温度传感器
2019-09-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
104-105
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10.3969/j.issn.1000-8519.2019.17.043
快速热处理、集成电路制造工艺、温度传感器
2019-09-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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