二次烘烤对过期Mask Blank原材白缺陷影响的研究

摘要：

本文通过对过期Mask Blank原材进行二次烘烤,发现此举对改善因blank原材过期所导致的白缺陷效果明显,不仅缺陷数量得到大幅的减少,同时缺陷尺寸大小也有明显的减小;进而通过多次实验,对比验证了曝光前二次烘烤、曝光后二次烘烤、显影后二次烘烤对改善白缺陷效果的差异,以及有无其它负面影响、负面影响可消除难易程度.通过实验发现,曝光后的烘烤,效果最佳,不仅白缺陷数量和尺寸都大幅减少,而且负面影响小,且所带来的负面影响可以有效去除,该方案具有运用到实际的工作中的价值.

关键词：过期、MaskBlank原材、二次烘烤、白缺陷

在线出版日期：2019-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：51-52