应用于扫描隧道显微镜探针的纳米级钨针制备

摘要：

扫描隧道显微镜因其原子级别的空间分辨率,广泛应用于材料表面表征等领域.其成像分辨率取决于针尖的尖锐度,目前还没有可靠的方法,能够制备出用于高质量的针尖.本文提出了一种利用场致刻蚀技术的方法,能够可控地制备出纳米级的钨针.

关键词：纳米针尖、扫描隧道显微镜、场致刻蚀

资助基金：青年科学基金项目资助,项目编号11504339

在线出版日期：2019-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：60-61