电子显微镜高压直流电源技术参数

摘要：

随着高压直流电源技术的逐渐成熟,应用于工业、农业、航天、医疗等的领域越来越普及,对高压直流电源的技术参数的要求就越来越高,纹波大小和稳定度是影响高压直流电源质量的两个关键因素.本文设计了一台90KV/1mA的高压直流电源应用于电子显微镜以及曝光机等,现对其技术参数纹波大小和稳定度进行测量,介绍了纹波的测量方法以及影响稳定度的因素.

关键词：高压直流电源、纹波、稳定度

分类号：TM8;TN8

在线出版日期：2017-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-33,31