军用集成电路失效分析

摘要：

随着科学技术的发展,集成电路在我国军用武器装备上的应用越来越广泛,其可靠性成为制约我国武器装备质量的一项重要因素,失效分析是集成电路可靠性及质量保证的重要环节,本文从失效分析的流程、方法、技术及发展入手,对军用集成电路的失效模式及失效机理进行了详细的讲解,随着元器件设计与制造技术的不断提高及失效分析技术和工具的逐步完善,失效分析工作将在集成电路质量控制方面发挥更大的作用.

关键词：集成电路、失效分析、电性分析、物理分析

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-47,54