砷化镓材料发展状况概述

摘要：

砷化镓广泛应用于光电子和微电子领域，是制作半导体发光二极管和通信器件的关键衬底材料。与硅单晶一样，砷化镓衬底正逐步向大尺寸、高几何精度、高表面质量方向发展。目前，日本住友电工、美国AXT代表着国际领先水平；中科晶电、晶明公司代表着国内的先进水平。未来几年，是国内企业研发6英寸产品，向国际水平冲击的重要时期。

关键词：砷化镓、半导体发光二极管、衬底材料

分类号：TG1;TN4

资助基金：本论文受天津市科技计划项目支持15ZLZLZF00200。

在线出版日期：2016-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：183-184,168