鉴相型容栅传感器机理与测量系统构建

摘要：

本文分析鉴相型容栅传感器的机理，并对容栅传感器测量系统的芯片，数据采集，鉴相电路分析从而构建测量系统。

关键词：鉴相、容栅传感器、测量

分类号：TM9;TH7

在线出版日期：2016-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：62-62,53