双频激光测量薄膜厚度的自动判读技术研究

摘要：

文章基于双频激光干涉与数字图像处理技术以及应用傅里叶变换分析干涉条纹方法，分析实现对薄膜厚度的自动化测量。系统采用了两个频率稳定的激光器，提高了视场照度和相干强度。分别在两种波长下，自动测量干涉条纹小数部分。利用图像采集系统读取高分辨率的干涉图像，使用计算机进行处理，实现了测量薄膜厚度在大于单频时半波长的薄膜。结果表明：这种方法的测量精度高，测试可靠。

关键词：薄膜厚度、双频激光干涉、干涉条纹

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：西安工业大学北方信息工程学院院长基金项目的资助Y1318

在线出版日期：2015-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49